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沉積態(tài)合金組織的形貌及選區(qū)電子衍射圖

 圖5一13(a)是沉積態(tài)合金組織的形貌及選區(qū)電子衍射圖。這時,合金的形貌沒有任何特征,相應的衍射圖為一暈環(huán)。這表明薄膜的結構為非晶態(tài)的,其結構有序的范圍不超過幾個原子間距。但這還不能確定薄膜的結構是完全意義上的非晶態(tài)還是所謂的微晶結構.
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