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薄膜結構與沉積原子的人射方向也有關

    薄膜結構與沉積原子的人射方向也有關。原子人射角的大小對薄膜結構有很大影響,使薄膜產生各向異性。隨著結晶顆粒的增大,而入射的沉積原子就逐漸沿著原子的人射方向長大,于是會產生所謂的自身影響效應,從而使薄膜表面出現(xiàn)凹凸不平,缺陷較多,并出現(xiàn)各向異性。這種沿原子人射方向生長的傾向,在人射角越大時,表現(xiàn)得越嚴重。
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