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薄膜的硬度測(cè)試

    物質(zhì)的硬度定義為一種物質(zhì)相對(duì)于另一物質(zhì)的抗摩擦性或抗刻劃性的能力。例如氮化欽薄膜蒸鍍?cè)邶X輪或刀具的表面,可以延長(zhǎng)它們的壽命,硬度極高、耐腐蝕性極好、透光性能優(yōu)良的類金剛石膜可用于光學(xué)器件、太陽(yáng)能電池的表面保護(hù)。
    硬度試驗(yàn)方法多種多樣,現(xiàn)在最常用的是維氏(Vickers)硬度,其次是庫(kù)氏(Knoop)硬度和布氏〔Brinell)硬度。
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